有機廢氣處理在實際使用中應(yīng)當(dāng)選擇什么工藝

 

有機廢氣處理法主要有吸收法、吸附法、燃燒法、生物法等處理技術(shù)。吸收法是使用有機氣體水溶性的***性，且添加次氯酸鈉或過氧化氫等氧化劑，將有機廢氣中的有機氣體去除。此辦法因添加氧化劑不光處理本錢添加，且易構(gòu)成二次污染，故吸收法未得到遍及使用。生物處理法是使用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質(zhì)。生物處理法運轉(zhuǎn)費用低，二次污染小，但處理條件嚴、繼續(xù)時刻長，占地面積***，故實際使用較少。燃燒法是使用高溫燃燒進程將有機廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O，依據(jù)廢氣的燃燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的燃燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒燃化二類，因觸媒式易形成觸媒毒化，故很少選用這種辦法。吸附法是使用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分子別離，而凈化有機廢氣。適用于集成電路工業(yè)的辦法有吸附法和燃燒法。

 

有機體系由高溫轉(zhuǎn)輪設(shè)備和活性炭吸附設(shè)備構(gòu)成。有機廢氣經(jīng)過預(yù)過濾器，除掉塵埃顆粒，維護下流的設(shè)備；經(jīng)過原氣體冷凝器，除掉高沸點有機物甲基乙基酮MEA，維護高溫轉(zhuǎn)輪設(shè)備內(nèi)的吸附劑；經(jīng)過加熱器，加熱冷凝后的有機廢氣至30。C左右，這樣能夠進步有機物吸附率；接著經(jīng)過G—AC過濾器，再次過濾去除高沸點有機物。廢氣送風(fēng)機將有機廢氣送人高溫轉(zhuǎn)輪設(shè)備進行吸附。高溫轉(zhuǎn)輪分為前后二室，并裝有一個***轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上裝有紙質(zhì)活性炭過濾器。有機廢氣過濾和吸附后排人***氣中，吸附后的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)入另一室內(nèi)，通入150。C左右的熱空氣進行解吸附，解吸附出來的濃縮氣體經(jīng)過過濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過濾器等設(shè)備，被濃縮氣體送風(fēng)機送人顆?；钚蕴课酵蔡幚?，吸附后排放于***氣中。吸附筒的活性炭經(jīng)過水蒸氣及壓縮空氣操控吸附桶上下?lián)醢鍎幼鱽硗杲Y(jié)解吸附，解吸附后的水蒸氣經(jīng)冷凝后變成濃縮液收回。此流程規(guī)劃的有機廢氣含異丙醇、醋酸丁脂、二甲基亞砜、苯類等，有機氣體濃度為65ppm，經(jīng)高溫轉(zhuǎn)輪設(shè)備處理，均勻去除率可達90％以上，排放到***氣中的有機氣體濃度小于6．5ppm，濃縮氣體的體積約為原廢氣的1／15左右，濃度為原廢氣的12～13倍左右，活性碳吸附設(shè)備均勻去除率可達95％以上。實際數(shù)據(jù)標(biāo)明其非甲烷總烴排放濃度為1．55—90mg／m，排放速率為0．010～0．155kg／h，均能到達相應(yīng)的排放規(guī)范。其運轉(zhuǎn)處理作用杰出。

 

沸石濃縮轉(zhuǎn)輪催化燃燒法也是現(xiàn)在被集成電路企業(yè)所廣泛選用的有機氣體處理辦法。有機廢氣進入沸石轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪上的沸石吸附了廢氣中***部份有機成分，而使廢氣中有機成分的含量***幅低下降而成為較潔凈的空氣，一部分較潔凈的氣體排放至***氣中，而另一部份氣體則進入再生區(qū)，經(jīng)再生區(qū)后的廢氣則含有高濃度的有機成分，這樣可下降后續(xù)處理程序的操作本錢。使用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將***風(fēng)量低濃度的廢氣濃縮為小風(fēng)量高濃度，再以直熱式(燃氣式燃化的方法，將有機成分轉(zhuǎn)化為無害的CO：和水，以到達去除有機物的意圖。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒體系的***點是能夠進行動態(tài)吸附和解析，不存在吸附劑的飽滿問題，恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速，再生溫度、風(fēng)量等，可得到適當(dāng)杰出的作用，關(guān)于有機成分的去除率在90％左右，濃縮倍數(shù)可達5-20。